技术编号:16315461
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单晶硅生产设备技术领域,具体为一种单晶炉晶棒定位装置。背景技术单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在用直拉法制造单晶体时,其过程中会经过熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长再形成需要的晶棒,在这个过程中我们需要对晶棒进行定位,防止晶棒与上炉体内壁碰撞,造成损坏,但由于晶棒在等径生长时其直径变化在正负2mm的之间,而现有的定位装置采用紧固方式来实现定位,在生产过程中会对晶棒造成损坏,为此,我们提出一种单...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。