技术编号:16315619
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种磁悬浮装置,尤其是一种基于Halbach阵列的磁悬浮装置。背景技术超精密定位系统是现代许多先进工业设备的核心技术,例如在浸没式光刻机中,浸没单元的位姿调节对于未知浸没流场稳定非常重要,需要实现高精度定位。磁悬浮技术具有无摩擦、无需润滑、无磨损等特点,特别适用于真空环境中的精密定位。但在定位过程中,为了支撑运动部件的质量,不可避免地会存在功率损耗,线圈电流持续发热产生的热量不仅导致工作环境温度升高,还会使机械结构发生形变,从而影响系统定位准确度。Halbach阵列是将不同磁化方向的永...
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