技术编号:16326667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械陀螺,尤其涉及一种可调谐栅结构微机械陀螺中的参量放大方法及其装置。背景技术微机械陀螺具有体积小、功耗低、可批量生产等特点,在工业和民用领域有着广泛的应用前景。近几年来,微机械陀螺的性能指标不断提高,显示出了高精度应用的潜力,如惯性导航单元。参量放大的原理是弹性系数的周期性变化,在特定参数下可以抵消一部分阻尼系数的作用,会导致器件的品质因数被放大,能提高器件的机械灵敏度。微机械陀螺又叫科氏振动陀螺,是基于两个振动模态的能量交换机制,即驱动模态和检测模态。对于微机械陀螺来说,参量放大...
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