一种活塞和包括其的比例阀的制作方法技术资料下载

技术编号:16338949

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本公开涉及多晶硅铸造领域,尤其涉及一种用于多晶硅铸锭炉的活塞和包括其的比例阀。背景技术目前,太阳能领域飞速发展,多晶硅作为太阳能电池的一种材料,其铸锭工艺也受到了广泛的关注,多晶硅铸锭炉是太阳能工业设计的专用设备,也是多晶硅铸锭的必需设备,在多晶硅铸锭炉制作多晶硅的过程中,需要采用比例阀作为高温气体的开关以控制气体的流量。现有的比例阀中的活塞为分离式活塞,即活塞的顶部和头部为分离式,通常采用胶水粘合在一起,在工作过程中,多晶硅铸锭炉的内部的高温气体会导致胶水老化,使得活塞的顶部和头部的连接处密封...
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