技术编号:16349160
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种翻转装置,具体是指一种基板自动翻转装置。背景技术阻蒸镀膜一般是通过设置在镀膜机内的阻蒸设备来加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。然而,现有的阻蒸镀膜机用于承载基片的基板只能实现单面承载,而无法实现双面承载的问题,导致阻蒸镀膜机的镀膜效率过低,从而严重的影响了企业的生产效率。实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有的阻蒸镀膜机用于承载基片的基板只能实现单面承载,而无法...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。