技术编号:16360835
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于光学检查和测量物体表面的方法,特别是用于对存在于所述表面上的图案进行成像的方法。本发明还涉及一种实现这种方法的用于检查物体的表面的系统。本发明的领域更具体地但非限制性地为光学轮廓测量领域。背景技术光学轮廓测量使得可以检查物体表面,以便特别地检测图案(例如存在于所述表面上的阶梯或沟槽)以及对图案进行成像。光学轮廓测量基于对发送到被检查表面并由所述表面反射的参考光辐射与源自同一光源的检查光辐射之间获得的干涉信号的测量和研究。通过相对地改变参考或检查辐射的光路,可以根据对干涉条纹的分...
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