技术编号：16365715
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种流体控制装置、流体控制装置的控制方法、以及流体控制系统，尤其涉及一种适应小型化的流体控制装置及其控制方法以及具备该流体控制装置的流体控制系统。背景技术在半导体制造装置或化工厂中，为了控制原料气体、蚀刻气体等流体，利用各种类型的流量计或压力计以及流体控制装置。其中，压力式流量控制装置被广泛利用，原因为能够通过将压电元件驱动型的控制阀和节流部(例如，流孔板(orifice plate)、临界喷嘴(critical nozzle))组合起来的比较简单的结构而高精度地控制各种流体的流量。在...
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