技术编号：16367561
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用超声波对加工材料的表面进行清洗的超声波清洗设备及利用其的超声波清洗方法。背景技术激光加工设备利用特定的光学系统向加工材料照射自激光光源出射的激光束，由此执行如标记(marking)、蚀刻(etching)、冲孔(punching)、刻划(scribing)、切割(dicing)等的激光加工工艺。另一方面，在执行此种激光加工工艺后，会在加工材料的表面附着有因激光加工产生的污染物质。为了去除此种污染物质，使用利用包括超声波发生器的超声波清洗设备对加工材料的表面进行清洗的方法。然而，...
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