技术编号:16368282
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种稀土抛光粉及其制备方法,特别涉及一种应用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光的稀土抛光粉及其制备方法。背景技术目前,各种玻璃材料被广泛使用,而这些材料被应用前都需经过必要的表面抛光。早期主要使用氧化锆、氧化铁或二氧化硅等材料对各种玻璃表面进行拋光,近年来,从抛光效率及精度方面来考虑,稀土氧化物(特别是氧化铈)为主要成分的拋光材料被认为更适合于玻璃材料的表面抛光。随着电子信息技术的迅猛发展,透镜、平板玻璃、液晶显示器(LCD)、眼镜、光学元件及陶瓷材料等玻璃...
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