技术编号:16379116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于在蒸镀有机EL显示装置的有机层时等使用的蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法。更详细而言,是关于可以容易进行蒸镀时的蒸镀掩膜的拆装的蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及使用其蒸镀方法的有机EL显示装置的制造方法。背景技术制造有机EL显示装置时,例如在支承基板上形成TFT等的开关元件的装置基板上对应每一像素层叠有机层。由于有机层对于水分不能弱蚀刻,因此,通过装置基板上配置蒸镀掩膜,经由该蒸镀掩膜蒸镀有机材料,只在必要的像素上层叠必要的有机层。作为其蒸镀掩膜,使用公知的金属...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。