技术编号:16384390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精细化工领域中的电子化学品及材料,特别涉及一种工业黄磷生产电子级磷酸的关键方法。背景技术电子级磷酸是磷化学品行业技术水平最高的产品之一,具有高纯度、高技术、高附加值等特点,广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业,主要用于芯片制造中氮化硅的蚀刻,其纯度和洁净度对芯片的良率、电性能及可靠性有着重要影响。我国作为年产量800万吨的磷化工大国,精细磷化工产业规模庞大,多种产品产量世界第一。但是电子级磷酸工艺研究、工业化应用发展缓慢,加上长期受欧美、日韩等国家的国际跨国化工企业的垄...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。