技术编号：16385035
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种面向微型原子气室的厚膜混合集成加热装置及制备方法，适用于高集成度、高性能的芯片级原子钟、微小型原子自旋陀螺仪、SERF(spin-exchange relaxation-free，无自旋交换弛豫)原子磁强计等属于微机电系统领域。背景技术很多物理研究与精密测量都是基于光与原子相互作用的量子过程，需要在原子蒸汽中制备长寿命的原子极化态，通常人们会将原子储存在玻璃的封闭容器内，这个容器就是原子气室。实验过程中需要通过给原子气室加热升温并稳定在一定的温度值，得到更高的原子数密度，利用气态原...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。