技术编号：16389537
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及压印装置、压印方法和制造物品的方法。背景技术作为制造半导体器件的光刻技术之一，把在模具上形成的图案转印到基板的压印技术正引起关注。在利用这种技术的压印装置中，使其上形成有图案的模具和在基板上供给的压印材料相互接触，并在这种状态下，固化压印材料。通过使模具与固化的压印材料分开，模具的图案可被转印到基板上。由于要求压印装置精确地把模具图案转印到基板上，因此重要的是在与基板的面平行的面方向上精确地对准模具和基板。于是，日本专利公开No.2006-165371已经公开一种在模具和基板上...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。