技术编号:16389801
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳米操控技术领域,具体涉及一种应用于高分辨力成像过程的纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法。背景技术纳米位移台作为微纳米操控领域的运动和定位装置,被广泛应用在材料分析、生物学等领域的扫描成像仪器中,如利用柔性铰链原理的纳米位移台制作的扫描探针显微镜等。这种由压电陶瓷堆驱动的纳米位移台,最小的移动步距可以达到亚纳米精度。通常的纳米位移台的控制电路采用单一16位DA芯片驱动X轴或者Y轴方向的运动。以驱动一个全行程范围是500um即500000nm的纳米位移台为例,纳米位移台能够实现的最...
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