技术编号：16402171
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅铸锭领域，特别是涉及一种坩埚涂层及其喷涂方法。背景技术在晶体硅太阳能产业中，多晶硅片占据着产业链中重要的一环。太阳能多晶硅片的生产主要包括铸锭、开方、切片等环节，其中铸锭环节决定着太阳能多晶硅片的质量以及产量。铸锭环节需要将原生硅料放置于石英坩埚内，再将装有硅料的石英坩埚投入多晶铸锭炉中进行铸锭。在多晶铸锭炉中的硅料熔化为硅液，再经过控制炉内温度梯度将硅液冷却得到高质量定向生长的多晶硅锭。在硅料熔化过程中，由于高温以及硅液会与石英坩埚反应造成石英坩埚被侵蚀导致硅液溢流或粘锅，影响...
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