技术编号:16412536
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石墨承载盘技术领域,具体涉及一种可调控局域温场的石墨承载盘。背景技术发光二极管,也称为LED,为一种固态半导体元件,其至少包含一P-N结,此P-N结形成于P型半导体与N型半导体之间。当于P-N上施予一定程度的偏压时,P型半导体中的空穴与N型半导体中的电子会结合而发光,此光产生的区域称为发光区。LED在制备过程中需要在外延片上外延生长多层外延层,以蓝宝石外延片为例,需将多片蓝宝石外延片放入外延炉中的石墨承载盘上,然后进行下一步加工。现有的石墨承载盘大部分呈蜂窝状相邻设置,每个收容部均...
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