技术编号:16417996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于白光干涉测厚领域,更具体地,涉及共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法。背景技术在光学测量领域中,基于干涉原理的测量系统已成为物理量检测中最为精确的系统之一,现代的干涉计量与测试技术己经能够达到一个波长的几百分之一的测量精度。而其中常用的白光干涉技术的原理是在1975年一经提出,便广泛的应用于光传输和光传感测量技术中。1984年,人们研制出了第一个功能完善的基于白光干涉技术的位移传感测量系统;19世纪80年代,白光干涉仪是直接在传统的干涉仪上改进添加白光光源的,如麦克尔逊(M...
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