蚀刻剂组合物、以及使用其制造金属图案和薄膜晶体管基板的方法与流程技术资料下载

技术编号:16439447

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本专利申请要求2017年6月20日提交的韩国专利申请No.10-2017-0078156的优先权,将其全部内容特此引入作为参考。技术领域在这里的本公开内容涉及蚀刻剂组合物以及使用其制造金属图案和薄膜晶体管基板(基底)的方法,且更具体地,涉及能够实现提升的锥形(taper)轮廓(profile)的蚀刻剂组合物、以及使用其制造金属图案和薄膜晶体管基板的方法。由于平板显示器行业需要高分辨率、大表面积的三维显示器,因此出现了对于甚至更快的响应速度的需要。特别地,正在研究使用低电阻材料用于电路形成以提高T...
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