技术编号:16448331
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种研磨抛光装置,尤其涉及一种利用低频交变磁场纳米级超精密磁力研磨装置。背景技术随着光学、电子、通讯、航空航天、生物工程等高新产业的快速发展,诸多复杂形状,难加工材料组成的元器件对超精密加工技术提出了更严格的要求。磁力研磨是一种先进的加工技术,它利用磁力线的透过作用,通过对磁力刷与工件间施加相对运动,从而实现材料去除,然而该技术很难实现工件表面的纳米级加工。其原因在于获得纳米级加工表面,通常使用数微米大小的磁性磨粒或超微米级的非磁性磨粒,然而,在加工过程中,磁性颗粒的凝聚,非磁性磨...
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