技术编号:16464278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于本实用新型属于微电子机械系统和气体检测技术领域,具体涉及一种气体传感器及传感器阵列。背景技术基于微电子机械系统(MEMS)技术的气体传感器,由于其小尺寸、低功耗、高灵敏度和快速响应等特点,逐步显现出巨大的应用潜力,将有望取代基于传统技术的气体传感器,在物联网、移动端和人工智能等领域广泛应用。而在MEMS 气体传感器中,又因采用金属氧化物半导体(MOS)材料的传感器具有广泛的检测范围,在未来的大规模应用中具有更为广阔的市场空间。目前MEMS MOS气体传感器中,主要以基于悬膜式微型加...
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