技术编号:16479950
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体、光伏器件的制造设备领域,尤其涉及一种坩埚保护装置。背景技术在多晶硅铸锭过程中,需要使用坩埚护板对石英坩埚进行保护,起到隔离污染作用。在实际使用过程中,需要将四块坩埚护板拼接固定在装有硅料的石英坩埚外侧,配合碳-碳盖板和碳-碳底板形成封闭的空间。随着多晶铸锭技术的发展,铸锭的种类越来越多,主要包括:提纯锭、半熔高效多晶硅锭、全熔高效多晶铸锭和铸造单晶硅锭等。不同类型铸锭对坩埚高度要求也不一致,从而坩埚护板高度也要随之调整,导致现有的坩埚护板需要重新设计和购买,造成资源浪费。另一方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。