技术编号:16483128
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空连接设备领域,具体为一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构。背景技术在真空设备系统中两个真空实验腔室间需要利用一个连接部件进行对接,通常所采用的对接方式都是硬性对接,硬性对接的局限在于没有调节的空间,这样往往会造成对接时的误差。实用新型内容针对背景技术中存在的问题,本实用新型提供了一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构,包括第一连接法兰、第二连接法兰以及屏蔽部件,所述第一...
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