带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法与流程技术资料下载

技术编号:16503770

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本发明涉及测量技术领域,特别涉及一种带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法。背景技术基于光学三角放大法的位移测量新原理,是在光学三角放大法的基础上,结合三角波光学器件与高精度PSD(Position Sensitive Device,位置灵敏(敏感)探测器)实现的。三角波光学器件将线性位移等间隔细分,降低光学器件加工精度与尺寸要求的同时,降低高精度PSD的尺寸要求,在小范围内实现高精度位移测量。基于光学三角放大法的位移测量原理是,在读数头与三角波光学反射部件发生相对位移后,经过光学三...
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