技术编号:16506549
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统技术领域,具体涉及一种大量程双模热感桥式微流量计。背景技术微机电系统是指以微米级元件实现电路-机械转换功能的系统,是21世纪最领先的技术之一,现有的微系统一般包括:微传感器、微致动器、微电机和微泵、微控制器等。微传感器通过感知某些物理量的输入信号,将其转化为电信号输出;微致动器中的传输单元将供给的能量转化为电信号以执行致动元件功能。微流量传感器是微电子机械系统中应用很广泛的一种,与传统流量计相比,它有着功耗低、响应快、测量准等优点,可应用于汽车工业、航空航天、生物研究、临床诊...
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