技术编号：16515382
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子气体制备纯化技术领域，具体涉及一种制备高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制发明。背景技术电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。磷烷是电子气体中的很重要的五族元素之一，PH3是一种重要的电子特气，它在半导体工业中主要用于外延硅的...
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