一种稀有气体回收装置的制作方法技术资料下载

技术编号:16557884

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本实用新型属于放电管生产技术领域,具体涉及一种稀有气体回收装置。背景技术冷阴极放电管的充填气体是稀有气体,稀有气体产量少,价格贵,且当市场紧缺时气体价格就会猛涨,最高涨幅曾经达到20倍。稀有气体的回收再利用具有很现实的意义,冷阴极放电管体积小,填充的稀有气体所需量较少,在排气工序剩余有稀有气体,且回收比较困难,浪费资源,增加生产升本,急需一种能将冷阴极放电管生产过程中剩余的稀有气体回收再利用的装置。实用新型内容发明目的:针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种冷阴极放电管生产中稀有气体...
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