一种测量硅光相干接收机光电响应度的装置和方法与流程技术资料下载

技术编号:16581867

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本发明实施例涉及光通信技术领域,尤其涉及一种测量硅光相干接收机光电响应度的装置和方法。背景技术硅光相干接收机是基于硅和硅基衬底材料(如SiGe/Si、SOI等),采用现有CMOS工艺将信号光功率监控二极管、光电二极管、信号光可调衰减器、偏振分束器、90°相干光混频器等部分单片集成于相干接收机的硅光芯片内,此工艺结合了集成电路技术的超大规模、超高精度制造的特性和光子技术超高速率、超低功耗的优势。但是,硅光相干接收机也存在如下缺点:损耗比传统工艺的器件偏大,器件光电指标随波长变化即WDL偏大。而硅光...
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