技术编号:16581958
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS和超声换能器技术,特别涉及一种面向空气耦合应用领域的具有T形空腔结构的空气耦合CMUT及其制备方法。背景技术超声换能器用于超声波的发射和接收,是实现超声检测技术的核心器件。由于超声波具有频率高、传播方向性好、能量集中、穿透力强、无噪音污染以及在液体中可产生空化现象等特点,超声换能器在医疗卫生、工业无损检测、化工生产、海洋地形勘探及军事声纳等领域具有重要应用价值。传统压电超声换能器因存在与空气、液体等环境介质阻抗匹配性差、带宽窄以及难以实现二维换能器阵列制备等技术难题,已无法满足...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。