技术编号:16588712
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于功率半导体技术领域,具体涉及一种横向金属氧化物半导体场效应管Lateral-Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,Lateral-MOSFET器件及其制备方法。背景技术进入21世纪以来,世界能源生产和消费仍以化石能源为主。结合当下能源资源的开发及利用的情况来说,化石能源在较长时期内仍然是人类生存和发展的能源基础。而化石能源终将枯竭,且易引发环境污染问题,由此引发的环境与可持续发展问题是人类必须面对的难题。电能作为人类可利用能...
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