技术编号：16590092
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种测量距离及旋转角度的光电芯片及光电系统。背景技术微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)，也称为微电子机械系统、微系统、微机械等，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。其具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产的特点。在国民经济和军事系统方面有着广泛的应用前景。MEMS器件中，有时需要测量其中移动机构的移动距离以及移动过程中的旋转角度。例如MEMS微镜系统中的反光镜，实时监测其位置以及偏转角度，将大大提升系统的工作性能。但是...
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