技术编号:16590156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置,可用于透镜中心厚度的非接触式高精度测量,属于光学精密测量技术领域。背景技术在光学领域中,透镜中心厚度的测量具有重要意义。透镜中心厚度是光学系统中的一个重要参数,其加工质量的好坏会对光学系统的成像质量产生较大影响。特别是对于光刻机物镜、航天相机等高性能光学系统中的透镜,需要根据镜头中透镜的曲率半径、折射率和中心厚度对透镜的轴向间隙、径向偏移和光轴偏角进行精密的调整。以光刻机物镜为例,每个单透镜中心厚度的偏差都会造成光刻物镜的像差,影响物镜...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。