技术编号:16594410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种中波红外光学硬质保护膜的制备方法。背景技术红外观测保护窗口,应用于红外成像系统中,发挥着极其重要的保护作用。为满足红外成像的光学系统要求,应用于中波红外的观测保护窗口一般采用硅、锗、氟化镁及蓝宝石等窗口。但由于材料本身的特性,为保证红外观测保护窗口的正常使用,需在其表面制备保护增透薄膜。经过几十年的发展,目前已有诸多材料用作中波红外光学窗口表面的光学保护膜,常见的有类金刚石薄膜(DLC)、碳化锗薄膜(GeC)等,其制备方式也已十分成熟。但上述保护膜主要满足...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。