技术编号:16594438
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,更加具体地,涉及蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法。背景技术OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),具有全固态结构、高亮度、全视角、响应速度快、工作温度范围宽、可实现柔性显示等优点,是新一代显示技术的重要组成,极具发展前景。目前主要采用蒸镀法制造OLED,即将镀膜材料加热后配合掩膜板沉积在玻璃基板上的预定区域,以此实现有机层和金属层的镀膜。而用于大尺寸蒸镀的掩膜板都是使用开口式掩膜板,一种是用于蒸镀有机层的有机掩膜板,另一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。