技术编号：16595028
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及粉末冶金、化学化工、半导体材料领域，特别涉及一种系统集成制备多元金属化合物块晶的方法及装置。背景技术目前，单晶、多元金属化合物衬底市场紧缺，价格昂贵、一货难求。通常，单晶、多元金属化合物衬底是由单晶、多元金属化合物块体材料切割、打磨、抛光而成，由此，单晶、多元金属化合物块体材料是生产单晶衬底的关键源体材料。典型的制备单晶、多元金属化合物块晶材料方法为HVPE、MOCVD、MBE等。所谓HVPE是指在特定条件下，使物质的原子或分子有规则排列，定向生长在衬底的表面上，获得连续、完整的并与衬...
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