技术编号:16599314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力传感技术领域,具体而言,涉及一种MEMS压力传感器模组。背景技术目前,随着智能化检测的不断推广,越来越多的传感器进入了人们的视线,其中,MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)传感器尤其受到了广泛的关注。但是,以前的MEMS压力传感器均只设置单个压力传感单元,而且测量单元尺寸较大,不利于微小尺寸压力的测量;同时外围信号处理电路和传感器如果是分立元件,对于同时分布多个压力传感器时,外围信号处理电路会非常复杂,而且会占用大量PCB板空间。有...
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