技术编号:16601948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种共聚焦X射线光谱分析仪,具体涉及一种大焦斑共聚焦X射线光谱分析装置。背景技术共聚焦X射线光谱分析技术是1993年前苏联科学家Gibson和Kumakhov提出的一种能够对样品进行三维无损分析新型X射线光谱分析技术。常规的共聚焦X射线光谱分析设备一般采用毛细管X射线会聚透镜和毛细管X射线平行束透镜的组合。其中,毛细管X射线会聚透镜有前后两个焦点,用于把放置于前焦点处X光管发出的发散X射线会聚成几十微米大小的微焦斑;毛细管X射线平行束透镜与X射线探测器组合使用,以将X射线能量转换为可供...
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