掩膜板、显示基板及其制作方法、显示装置与流程技术资料下载

技术编号:16605636

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本发明涉及显示技术领域,特别是指一种掩膜板、显示基板及其制作方法、显示装置。背景技术现有的显示基板中,为了提高显示品质,在公共电极上还设置有金属图形,金属图形与公共电极直接接触,能够降低公共电极的电阻,进而减少画面泛绿的情况。在制作公共电极和金属图形时,首先形成层叠设置的透明导电层和金属层,在金属层上涂覆光刻胶,利用半色调掩膜板对光刻胶进行曝光,显影后形成光刻胶完全去除区域、光刻胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域,刻蚀掉光刻胶完全去除区域的金属层,之后灰化掉光刻胶部分保留区域的光刻胶,以金属层为...
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