技术编号：16628422
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密仪器设备技术领域，尤其涉及一种直线步进式压电驱动器。背景技术为满足航空航天/生物医学/微机电系统/精密制造等领域的精密定位要求，基于电磁/静电/热变形/磁致伸缩/形状记忆合金/电致变形/压电等原理的精密驱动器(或称电机/马达/致动器/促动器等)的研究已成为国内外热点。每类驱动器都有自身优势和适用领域，压电驱动器具有分辨率高、定位精确、结构简单、控制方便、无电磁干扰等特点，故应用范围更广，已被用于生物细胞操作、微机电系统、微纳米压痕、航空摄像等系统中，展示了较好的应用效果和光明的前景...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。