技术编号：1663192
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。此处提供一种用于处理基板的工艺，该基板由吸附性材料组成。吸附性材料可以是例如聚酯的吸收性合成材料。将材料设计成用于清洁超净环境中的表面。该工艺首先包括将吸附性材料卷退卷为进入清洁系统中的基板。清洁系统使用几个段。这些包括预清洗段、声能清洗段以及烘干段。优选地，穿过清洁系统移动基板的工艺是连续的。声能清洗段使用一个或多个声能发生器。在一方面中，工艺还包括在将基板穿过烘干段移动之后，将基板切割成段，以形成擦拭物。其后，将擦拭物放置入袋中，并且密封袋。此处还提供...
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