一种用于可视化研究的微型燃烧器的制作方法技术资料下载

技术编号:16638272

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本发明涉及微尺度燃烧领域,尤其涉及一种用于可视化研究的微型燃烧器。背景技术随着微加工技术的发展,以微小尺寸为特征的微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System,简称MEMS)已经成为世界范围内的一个研究热点。MEMS是一种集微传感器、微执行器、微电路和微能源为一体的装置。MEMS若要发挥其微型化的优势,则需要微小的动力系统来提供动力和电源,这促使了微型动力系统(power MEMS)的迅速发展。作为微型动力系统的核心部件,微型燃烧器承担着为系统提供能量的关键作用。...
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