技术编号：16640290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密传感与测量技术领域，主要涉及一种量子隧穿和球面散射场复合原理传感方法与装置。背景技术随着当前精密加工制造水平的日益提高，具有大深宽比特征的微纳/微小结构在尖端技术领域得到应用，用于此类结构精密测量的传感方法与传感测头随之成为当前研究热点。高分辨力与瞄准精度、三维各向同性和无损伤快速测量能力是实现大深宽比结构高精度测量的关键要素。然而，将现有的精密测头及传感技术方案应用到具有大深宽比特征的结构测量时，很难实现纳米级高分辨力、三维各向同性、大深宽比测量能力和无损伤测量特性的有效兼顾和高...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。