用于制造高垂度透镜阵列的方法以及高垂度透镜阵列与流程技术资料下载

技术编号:16644646

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本发明涉及一种制造透镜阵列的方法,尤其是涉及一种用于制造高垂度(sag)透镜阵列的方法以及用半导体制作工艺制造的高垂度透镜阵列。背景技术一般而言,制造一微透镜阵列的传统方法会先在具有多个空腔的模具上同时注入一紫外线(UV)胶层,然后将一玻璃基板定位在该紫外线胶层上,在该玻璃基板挤压该紫外线胶层的同时照射紫外线,以硬化该紫外线胶层并将该玻璃基板和该紫外线胶层结合起来,制成该微透镜阵列。然而,当该些空腔具有超过300微米的深度时,上述的传统方法将导致该些空腔中的紫外线胶层的不完整填充成型或气泡,并且...
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