技术编号：16644667
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅。背景技术衍射光栅一般是采用平行的黑白条衍射光栅，在光谱分析中只有±1级的光有利于分析，但是黑白条光栅存在多级衍射的问题，即存在高级衍射，而且在极紫外波段的应用时，由于材料对于此波段的吸收也是较为严重，工艺和图像设计上都有很大的困难。目前已有的几种单级衍射光栅，包括倾斜的矩形孔和随机大小的圆形孔，还有六边形孔的单级衍射光栅，虽然都能够抑制高级衍射，使得只存在0级和±1级，但是±1级的绝对衍射效率较低，最高的也只有6.25％，在实际应用中也有局...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。