技术编号：16651012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体湿式制程设备技术领域，尤其涉及一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构。背景技术现有的半导体湿式制程机台在制程当中，由于工件制程后，工件会因静电关系将环境当中的微尘粒子落尘吸附到表面，不但会造成制程上缺陷，而且会进一步影响后续产品的质量。实用新型内容为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子，避免了后续制程上的缺陷，保证了产品的质量，通过电机带动螺纹杆转动，从而...
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