原片贴膜机构的制作方法技术资料下载

技术编号:16660785

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本发明涉及芯片加工技术领域,具体为原片贴膜机构。背景技术晶圆是芯片制作的原材料,是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,实际运用过程中也将其称作原片。在原片上可加工制作成各种电路元件结构,通常其将具有电路元件结构的面称为正面,另一面称为背面,在原片加工过程中,需要对其正面进行覆膜,以防止电路元件损坏。现有技术中常通过原片覆膜机对原片进行覆膜,通过将原片放置在底板上,将薄膜盖在原片上,盖上盖板,驱动盖板上的切刀转动一周切割薄膜,即可将薄膜贴附在原片上。但是,现有技术中的...
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