技术编号:16662791
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅片镀膜技术领域,具体为一种新型背钝化背膜正膜机台镀膜连体上下料装置及方法。背景技术目前常规电池受工艺、设备等制约,效率的提升到达瓶颈,电池效率的增益必须依靠开发新型结构电池工艺的发展,其局部接触背钝化(PERC)太阳能电池,是市场上逐渐成熟的一种高效太阳能电池,其核心工艺是在硅片的背面依次用氧化铝和氮化硅覆盖,达到钝化表面、提高长波响应的作用,从而提升电池的光电转换效率。现在局部接触背钝化(PERC)太阳能电池工艺,主要分为管式ALD和板式MAIA两种,板式玛雅MAIA为等离子体增强...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。