技术编号:16665514
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅片自动分拣设计领域,具体来说,涉及一种硅片自动分拣计量的装置。背景技术硅片一般较薄,在分切、清洗或传输的过程中极易发生碎片的现象,要进行碎片检查后才能够进行后续的应用,现有技术中多是通过人工精检来对可能含有大量碎片的硅片进行检测,这样往往需要很高的人工成本,且检测效率非常低。那么,如何提供一种硅片自动分拣计量的装置来解决以上存在的问题。针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案。发明内容针对相关技术中的问题,本发明提出一种硅片自动分拣计量的装置,以克服现有相关技术所存在的上述技...
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