技术编号：16668428
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种电容式压力传感器及其制备方法、压力测量装置。背景技术随着传感器产业的发展，基于微电机系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)技术的传感器成为传感器行业发展的一个最重要分支。MEMS是一项用于批量制作微型结构、微传感器、微执行器、微系统以及它们的信号处理电路等的半导体技术。基于MEMS技术的压力传感器在工业生产、医疗卫生、环境监测以及科学研究等众多领域有着广泛的应用。其中，电容式压力传感器是MEMS压力传感器的一种主要类...
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