技术编号:16672201
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于陶瓷靶材制备技术领域,具体涉及一种复合陶瓷靶的制造设备。背景技术目前,制备陶瓷靶的方法主要有溶胶-凝胶法和固相法。研究表明,溶胶-凝胶法制备的陶瓷靶比固相法制备的陶瓷靶质量较好,但是溶胶-凝胶法的制备工序较为复杂并且成本较高,无法批量生产,而固相法制备的制备工序较为简单并且成本较低,可以批量生产。因此,有研究人员通过结合溶胶-凝胶法和固相法的优缺点分别利用两种方法制备得到陶瓷粉末和陶瓷靶材后,将陶瓷粉末和陶瓷靶材混合压制烧结得到复合型陶瓷靶材。但是,目前还没有一类设备可以同时完成上述操...
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