技术编号:16674432
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量领域,更具体地,涉及一种传感器,尤其是一种具有高性能的MEMS传感器。背景技术现有主流的传感器,例如麦克风、压力传感器、位移传感器等,均是通过平板电容器的原理进行检测。例如在麦克风的结构中,通常包括衬底以及形成在衬底上的背极板、振膜,其中,背极板与振膜之间具有间隙,使得背极板、振膜共同构成了平板式的电容器感测结构。为了充分利用振膜的机械灵敏度,麦克风需要设计一个具有环境压力的巨大后腔,以确保流动空气的刚性远远超过振膜。后腔的容积通常远大于1mm3,例如后腔的容积通常设计为1-15m...
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